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SK, 불화수소 양산 시작 일본 규제 뚫고 소재 국산화 박차

SK그룹이 불화수소 가스 생산을 시작했다. SK그룹은 지난 17일 반도체 소재 생산 기업인 SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 밝혔다. 일본 수출규제 대표 품목인 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스다. 반도체 공정 미세화로 수요는 급증하는데 해외 의존도가 100%에 달했다. SK머티리얼즈는 지난해 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 지었다. 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리는 것이 목표다. SK머티리얼즈는 최근 고부가 제품인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 불화아르곤 포토레지스트도 해외의존도가 90%에 달한다. SK머티리얼즈는 내년에 400억원을 투자해 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모 포토레지스트를 생산할 계획이다. 공장은 세종시 인근에 들어설 것으로 보인다. SK머티리얼즈는 15일 이사회에서 이같은 방안을 결정했다. SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기차에 필수 소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 사업을 인수했다. 실리콘카바이드 웨이퍼 사업은 미국·유럽의 소수 업체가 세계 시장을 과점하고 있다. SK그룹은 이와같이 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해서 국내 반도체 생태계 강화에 기여할 계획이다. SK그룹 내 소재사들은 중소 협력사들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에 필요한 기술과 노하우를 공유할 예정이다. SK머티리얼즈는 지난해 11월 영주 본사에 연구개발(R&D) 시설인 '통합분석센터'를 세우고 한국표준과학원 등과 함께 중기 분석 서비스 준비를 시작했다. 김두용 기자 kim.duyong@joongang.co.kr 2020.06.20 12:30

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