미중 갈등 속 주목받는 삼성·SK의 ‘슈퍼을'과 반도체 동맹

12일(현지시간) 벨트호벤 소재 ASML 본사에서 열린 한-네덜란드 첨단반도체 협력 협약식을 마친 뒤 기념촬영을 하고 있다. 왼쪽부터 최태원 SK그룹 회장, 윤 대통령, 빌럼-알렉산더르 네덜란드 국왕, 이재용 삼성전자 회장, 피터 베닝크 ASML CEO. 연합뉴스

반도체를 둘러싸고 벌어지고 있는 미국과 중국의 갈등 속에서 삼성전자와 SK하이닉스가 ‘슈퍼을’ ASML과 구축한 연합전선이 관심을 끈다. 반도체 제조 강국인 한국과 반도체 장비 강국인 네덜란드가 차세대 반도체 개발을 위한 다양한 협력 관계를 구축하면서 '반도체 공급망'을 확대했다.  

13일 산업통상자원부에 따르면 네덜란드 벨트호벤의 ASML 본사에서 열린 ‘한·네덜란드 반도체 기업인 간담회’에서 ASML이 삼성전자와 손잡고 1조원을 들여 국내에 첨단 반도체 미세공정 기술을 개발하는 연구 시설을 짓기로 했다. 

네덜란드 기업인 ASML은 반도체 업계에서 ‘슈퍼을’로 불린다. 초미세 공정 반도체 제조에 반드시 필요한 극자외선(EUV) 장비를 세계에서 유일하게 생산할 수 있는 기업이기 때문이다. 이로 인해 ASML로부터 EUV 장비 확보가 차세대 반도체 기술 경쟁의 승부처로 꼽히고 있다.

이런 측면에서 ASML과 삼성전자의 공동 투자로 세워지는 ‘차세대 반도체 제조기술 R&D 센터’의 국내 건립은 의미가 크다. 이날 두 기업은 차세대 EUV 기반 초미세 공정을 개발하는 R&D 센터의 양해각서(MOU)를 체결했다. 

‘슈퍼을’ ASML이 반도체 제조 기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정 개발을 위한 R&D 센터를 세우는 것은 이번이 처음이다. 1조원을 공동 투자한다고 합의를 했으니 5000억원의 투자 유치를 한 셈이다. 

앞서 ASML은 2025년까지 총 2400억원을 투자해 경기 화성에 반도체 장비 클러스터인 ‘뉴 캠퍼스’를 짓겠다는 계획을 발표한 바 있다. 뉴 캠퍼스에는 EUV 노광장비 관련 부품 등의 재제조센터와 첨단기술을 전수할 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다. 

ASML은 중장기적으로 한국에 제조 시설까지 설립하는 방안을 검토 중인데 이번 동맹을 계기로 더욱 실현 가능성이 높아졌다. ASML이 국내에 제조 시설까지 구축한다면 EUV 노광장비 확보가 수월해지고 공급 시간도 단축될 수 있다는 장점이 있다. 한국은 29%로 대만(38%)에 이어 ASML 장비구입의 최대 고객이기도 하다. 

피터 베닝크 ASML 회장은 "한국 시장의 성장 잠재력을 고려해 올해 초 '뉴 캠퍼스' 건설을 시작하는 등 한국과의 반도체 연대가 크게 강화되고 있다"며 "최근 기술 난도 상승으로 개발 비용이 급등한 만큼 정치·경제·인력을 아우르는 국가 간 협업이 중요하다"고 강조했다.

기업인들은 간담회에서 반도체 산업의 미래와 한국과의 협력을 주제로 전략적인 대화를 이어나가기도 했다. 

12일 네덜란드 ASML 본사에서 열린 한-네덜란드 반도체 기업인 간담회에 참석한 최태원(왼쪽부터) SK그룹 회장, 피터 베닝크 ASML CEO, 윤석열 대통령, 빌럼-알렉산더르 국왕, 이재용 삼성전자 회장, 안드레아스 페처 ZEISS SMT 대표. 작은 사진은 ASML의 ‘클린룸’을 둘러보기 위해 방진복을 착용한 모습. 연합뉴스 

이재용 삼성전자 회장은 "세계 무역의 토대를 만들고 증권시장을 처음으로 개장한 네덜란드에서도 가장 대표적인 혁신의 상징인 ASML과 전략적 파트너십을 강화해 나가고 있다"고 말했다. 

아울러 ASML은 SK하이닉스와 'EUV용 수소 가스 재활용 기술 개발 MOU'를 체결했다. 생산 과정에서 전력 소비를 획기적으로 줄이는 수소 자원 친환경 공정을 함께 개발하기로 한 것이다. EUV 노광장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용하면 전력 사용량을 20% 줄여 연간 165억원의 비용이 감축될 것으로 기대된다. 

최태원 SK그룹 회장은 “내년부터 SK하이닉스도 ASML과 반도체 연구기관 아이맥(IMEC) 공동의 차세대 EUV 개발사업에 함께 참여해 인공지능(AI) 시대에 대비한 고성능 반도체 개발을 본격화하겠다”고 밝혔다.

이날 한국과 네덜란드의 첨단 반도체 아카데미 신설과 관련한 MOU 체결도 눈길을 모았다. 차세대 반도체 개발을 위해 인력 양성 단계부터 긴밀히 협력하기로 한 것이다. 양국은 2024년부터 2028년까지 5년간 약 500명의 반도체 인력을 공동으로 양성할 계획이다. 교육 과정은 한국 측에서는 한국산업기술진흥원(KIAT)과 한국반도체운영협회가, 네덜란드 측에서는 에인트호번공대와 ASML 등이 맡아 운영한다. 

먼저 내년 2월 한국 교육생 25명, 네덜란드 교육생 25명 등 50명을 선발해 네덜란드 현지에서 1차 아카데미를 여는 방안을 추진하게 됐다. 

안덕근 산업통상자원부 본부장은 “한국과 네덜란드 간 연대는 글로벌 반도체 공급망 강화와 기술 혁신에 크게 기여할 것”이라고 말했다. 

ASML의 ‘클린룸’을 둘러보기 위해 방진복을 착용한 모습. 연합뉴스